検査装置

摘要

この検査装置は、検査装置全体の動作制御を行うメイン制御部と、検査対象物を撮像する撮像部を含む検査ヘッドと、メイン制御部から１回の撮像動作トリガ信号を受信したことに基づいて、撮像部に検査対象物の所定領域の画像を複数回撮像させ、撮像部により撮像された所定領域の画像に基づいて、検査対象物についての検査結果である合否を判別するサブ制御部とを備える。