| 摘要 |
本発明のＩＣハンドラ４は、複数のＩＣデバイスを把持するとともに複数のＩＣデバイスを複数のソケット３に対して押圧するコンタクトヘッド７と、コンタクトヘッド７を移動させる可動アーム６と、を備える。可動アーム６は、コンタクトヘッド７の動作を発生させる動力の供給源ＶＳ，ＨＳに接続された動力の供給口ＶＯ，ＨＯを有しており、コンタクトヘッド７は、動力によって動作する複数の動作部７０と、複数の動作部を７０支持するとともに可動アーム６に着脱可能に取り付けられる支持部７１と、を有している。コンタクトヘッド７の支持部７１は、供給口ＶＯ，ＨＯに着脱可能に接続される接続口ＶＣ，ＨＣと、供給口ＶＯ，ＨＯに接続された接続口ＶＣ，ＨＣから動力を複数の動作部７０に供給する供給路７１ａ，７１ｄと、を有する。 |
