| 摘要 |
【課題】平面および凸曲面を検査することが可能な外観検査装置を提供する。【解決手段】外観検査装置１は、平坦な表面を有する第１半導体素子２０を照明するための第１ユニット３０と、第１ユニット３０と置き換え可能に設けられ、凸曲面を有する第２半導体素子を照明するための第２ユニット５０と、第１半導体素子２０および第２半導体素子の表面を撮像する撮像ユニット４０と、撮像ユニット４０と第１半導体素子２０との間に第１ユニット３０を配置し、撮像ユニット４０と第２半導体素子との間に第２ユニット５０を配置する搬送ユニット６０と、を備える。【選択図】図１ |
