发明名称 基板から剥離可能な薄膜積層体を製造するための方法
摘要 本発明は、薄膜太陽電池を最初の基板(1)上に製造するための方法であって、薄膜太陽電池が最初の基板(1)から剥離可能であり、薄膜太陽電池が裏面金属層(2)とp−n接合を備える薄膜積層体(7)とを備え、方法が:− スパッタリングにより裏面金属層(2)を最初の基板(1)上に積層させるステップ(101)と、− 薄膜積層体(7)を裏面金属層(2)上に形成するステップとを備え、裏面金属層を堆積させるために使用される電力、温度および圧力が、剪断応力を裏面金属層に制御された様式で導入するように選択されることを特徴とする、方法に関する。
申请公布号 JP2017507486(A) 申请公布日期 2017.03.16
申请号 JP20160550216 申请日期 2014.12.29
申请人 ネクシスNEXCIS 发明人 デュンヌ,ブレンダン;アングル,ステファニー
分类号 H01L31/18;C23C14/14;C23C14/34;C23C14/58;H01L21/363;H01L31/0224;H01L31/0749 主分类号 H01L31/18
代理机构 代理人
主权项
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