| 摘要 |
複数の電子ビームを発生させることが可能であり、かつ設備を簡素化することが可能な電子銃装置及び真空蒸着装置を提供する。電子銃装置は、第１のフィラメントと、第２のフィラメントと、電源ユニットと、切替ユニットと、制御部とを具備する。第１及び第２のフィラメントは、第１及び第２の電子ビームを発生することが可能である。電源ユニットは、第１のフィラメント又は第２のフィラメントに電子ビームを発生させるための加熱電流を供給する加熱電流供給部と、加熱電流にバイアスを印加するバイアス供給部とを有する。切替ユニットは、加熱電流にバイアス電圧が印加された駆動電流を第１のフィラメントに供給する第１の状態と、駆動電流を第２のフィラメントに供給する第２の状態とを選択的に切り替えることが可能に構成される。制御部は、第１の状態と第２の状態との切り替えを制御する。 |
