アルカリ溶解現像性の高屈折率膜形成組成物及びパターン形成方法

摘要

【課題】発光ダイオード（ＬＥＤ）の更なる長寿命化且つ低消費電力のため、光取り出し効率を高め、高屈折率、高透明性、高耐熱性、高耐光性、高硬度の膜作製に好適な膜形成組成物及びパターン形成方法の提供。【解決手段】式（ａ１）と式（ａ２）とで表わされる各々の加水分解性シランを含む加水分解性シランの加水分解縮合物であり且つ重量平均分子量７００〜４０００のケイ素化合物（Ａ）と、１〜１００ｎｍの平均粒子径と１．５０〜２．７０の屈折率を有する無機粒子（Ｂ）と、溶剤（Ｃ）と、を含む膜形成組成物。（Ｒ１及びＲ２は各々アルコキシ基、アシルオキシ基、又はハロゲン基；ＬはＣ３〜６の直線、分岐又は環状のアルキル基）【選択図】図１