研磨布用ドレッサー

摘要

【課題】高いパッド研削速度と高いパッド平坦性とを同時に満たすドレッサーを提供する。【解決手段】本発明は、金属製支持材の表面に複数個のダイヤモンド砥粒が単層に固着された研磨布用ドレッサーである。前記ドレッサーは、前記ダイヤモンド砥粒が、ろう材層を介して前記金属製支持材の表面に接合されて固着されており、前記ダイヤモンド砥粒の平均粒径ｄが３μｍ以上１００μｍ未満であり、かつ、前記ろう材層の厚みが０．１ｄ以上０．４ｄ未満である。【選択図】なし