| 摘要 |
【課題】混合ガス中の原料の濃度が変化しても当該原料の流量を測定することが可能な原料ガス供給装置等を提供する。【解決手段】原料ガス供給装置は、基板Ｗに成膜を行う成膜装置に原料の濃度変化を伴う原料ガスを供給し、キャリアガス供給部４１は原料３００を収容し、加熱部と圧力調節部とを備える原料容器２に対してキャリアガスを供給し、第１の流量測定部４２は、キャリアガスの流量測定値を出力する。原料容器３にて気化した原料を含む原料ガスは、原料ガス供給路２１０を介して成膜装置に供給され、キャリアガスにより校正され、原料ガスの全量を通流させる細管に設けた抵抗体の抵抗値により流量測定値を得る流量計からなる第２の流量測定部２は、この原料ガスの流量測定値を出力する。流量演算部５１は、第１の流量測定部４２にて得られた流量測定値と、第２の流量測定部２にて得られた流量測定値との差分値を原料の流量に換算する。【選択図】図２ |
