| 摘要 |
本発明は、パターンの微細化やずれ等によらず、正確且つ安定してパターンやエッジの判定、或いはエッジの特定に基づく測定を行うパターン測定装置、及びコンピュータプログラムである。本発明では特定の間隔で繰り返し配列されているパターン部位（Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４）を、パターン部位の位置に応じて分類し、当該分類されたパターン部位と、パターンのエッジの種類に関する情報、或いはパターンの種類に関する情報との対応付けに基づいて、パターンのエッジの種類の特定、パターンの種類の特定、或いは所定のパターン部位間の寸法測定を実行するパターン測定装置、及び上記処理をコンピュータに実行させるコンピュータプログラムが提供される。 |
