发明名称 電子部品の製造方法
摘要 硬化した接着剤層を高精度にかつ容易に形成することができる電子部品の製造方法を提供する。本発明に係る硬化性膜電子部品1の製造方法は、インクジェット装置11を用いて、第1の電子部品本体2上に、接着剤を塗布して、接着剤層12を形成する塗布工程と、第1の光照射部13から接着剤層12Aに光を照射する第1の光照射工程と、光が照射された接着剤層12B上に、第2の電子部品本体4を配置して、貼り合わせる貼合工程と、加熱により接着剤層12Bを硬化させて、電子部品1を得る工程とを備え、インクジェット装置11が、上記接着剤が貯留されるインクタンクと吐出部と循環流路部とを有し、上記塗布工程において、インクジェット装置11内で、上記接着剤を循環させながら、塗布する。
申请公布号 JPWO2015076235(A1) 申请公布日期 2017.03.16
申请号 JP20140561201 申请日期 2014.11.18
申请人 積水化学工業株式会社 发明人 谷川 満;渡邉 貴志;上田 倫久;中村 秀;前中 寛;高橋 良輔;井上 孝徳;藤田 義人
分类号 H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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