シール機構、シール機構の駆動装置、搬送装置及び製造装置

摘要

シール機構は、圧力の異なる二つの空間を隔てるシール機構であって、ハウジングと、ハウジングに挿入されるシャフトと、シャフトの径方向外側表面又はシャフトに固定された回転部の径方向外側表面に接して、隙間を密封する環状シール部材と、環状シール部材と径方向外側表面との間に供給する潤滑剤を蓄える潤滑剤溝と、を備える。