基于LTCC工艺微惯性测量单元的三轴结构及制造工艺

摘要

本发明公开了一种基于LTCC工艺微惯性测量单元的三轴结构及制造工艺，X轴、Y轴、Z轴和主控4个模块的电路器件采用SMT分别集成在一LTCC基板上；将X轴模块和Y轴模块正交侧立安装在Z轴模块LTCC基板的空腔底板上，形成三轴检测量模块；将主控模块、三轴检测模块装配BGA焊接成三轴MIMU组件。本发明采用模块设计，体积小，重量轻，减小尺寸效应带来的不良影响；器件之间互连线短，传输损耗和串扰减小；X轴模块、Y轴模块正交侧立安装在Z轴模块LTCC基板的空腔底板上，有效实现X‑Y‑Z三轴惯性的立体正交检测，结构简单、工艺可靠、安装准确；外壳散热凸台使MIMU散热性能好，抗外界电磁干扰性能强。

主权项

一种基于LTCC工艺微惯性测量单元的三轴结构，其特征是，将MIMU组件划分成X轴、Y轴、Z轴和主控4个模块，每个模块的电路器件采用SMT分别集成在一LTCC基板上，其中Z轴模块、主控模块的LTCC基板上开有空腔；将X轴模块和Y轴模块由直角支架支撑正交侧立安装在Z轴模块LTCC基板的空腔底板上，形成X‑Y‑Z立体正交的MIMU三轴检测模块；将主控模块、MIMU三轴检测模块的空腔相对装配BGA焊接成一体，形成立体正交的三轴MIMU组件；所述三轴MIMU组件粘接安装在外壳底座内，MIMU组件上的I/O端子与外壳底座上的连接器端子连通；所述外壳底座上激光焊一盖板，形成MIMU系统整件。