扩束器

摘要

描述了一种扩束器，所述扩束器包括部分反射器、关于两个正交轴弯曲的反射式偏振器以及布置在反射式偏振器和部分反射器之间的四分之一波延迟器。扩束器适于接收入射在部分反射器上的输入光束并且透射扩束的输出光束。描述了包括扩束器的照明器和投影系统。

主权项

一种扩束器，包括：部分反射器，在预定的多个波长中具有至少30％的平均光反射率；反射式偏振器，布置成邻近所述部分反射器并且与所述部分反射器间隔开，所述反射式偏振器关于两个正交轴弯曲；以及四分之一波延迟器，布置在所述反射式偏振器和所述部分反射器之间，其中所述扩束器适于接收入射在所述部分反射器上的输入光束并且透射扩束的输出光束。