| 发明名称 | 一种基于光纤的原子力显微镜探头及原子力显微镜系统 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种基于光纤的原子力显微镜探头及原子力显微镜系统，基于光纤的原子力显微镜探头包括探针和微悬臂梁，探针位于微悬臂梁的一端，所述微悬臂梁位于光纤的一端，微悬臂梁通过一连接臂与光纤一端面之间形成光纤F‑P腔，微悬臂梁用来感应探针与样品之间距离的变化，当微悬臂梁发生形变引起所述光纤F‑P腔的腔长发生变化时，反射光强度被光纤F‑P腔所调制。 | ||
| 申请公布号 | CN106501551A | 申请公布日期 | 2017.03.15 |
| 申请号 | CN201611245753.4 | 申请日期 | 2016.12.29 |
| 申请人 | 山东大学 | 发明人 | 曹弘毅;张雷;姜明顺;隋青美;曹玉强;张法业 |
| 分类号 | G01Q60/40(2010.01)I;G01Q60/24(2010.01)I;G01Q70/16(2010.01)I;G01Q70/08(2010.01)I | 主分类号 | G01Q60/40(2010.01)I |
| 代理机构 | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人 | 张勇 |
| 主权项 | 一种基于光纤的原子力显微镜探头，包括探针、光纤和微悬臂梁，探针位于微悬臂梁的一端，其特征在于：所述微悬臂梁位于光纤的一端，微悬臂梁通过一连接臂与光纤一端面之间形成光纤F‑P腔，微悬臂梁用来感应探针与样品之间力的变化，当微悬臂梁发生形变引起所述光纤F‑P腔的腔长发生变化时，反射光强度被光纤F‑P腔所调制。 | ||
| 地址 | 250061 山东省济南市经十路17923号 | ||