压印装置、物品的制造方法及供给装置

摘要

本发明提供一种压印装置、物品的制造方法及供给装置。所述压印装置包括：腔室，其被构造为限定包括处理单元的第一空间，所述处理单元包括被构造为将压印材料排出到基板上的排出单元，并且所述处理单元被构造为通过使用模具进行使所述基板上的压印材料形成图案的压印处理；以及容器，其被构造为限定包括箱的第二空间，所述箱被构造为储存要供给到所述排出单元的压印材料，其中，所述箱具有对所述第二空间开放的第一开口，并且所述容器具有供给口，所述供给口被构造为经由所述第一开口将比供给到所述第一空间的气体更洁净的气体供给到所述第二空间。

主权项

一种压印装置，所述压印装置包括：腔室，其被构造为限定包括处理单元的第一空间，所述处理单元包括被构造为将压印材料排出到基板上的排出单元，并且所述处理单元被构造为进行通过使用模具对所述基板上的压印材料形成图案的压印处理；以及容器，其被构造为限定包括箱的第二空间，所述箱被构造为储存要供给到所述排出单元的压印材料，其中，所述箱具有对所述第二空间开放的第一开口，并且所述容器具有供给口，所述供给口被构造为经由所述第一开口将比供给到所述第一空间的气体更洁净的气体供给到所述第二空间。