一种真空阀门及真空设备

摘要

本发明涉及真空反应装置技术领域，公开一种真空阀门及真空设备，其中，真空阀门用于连接于真空设备中相互邻接且贯通的两个真空腔室之间；该真空阀门包括：呈方形设置的密封壳体，壳体相对的两个侧壁上分别设有门型开口，两个门型开口相对设置；位于壳体内的门体，该门体可分别与两个门型开口开关配合；传动模块，用于：驱动门体在两个侧壁之间水平移动、以实现门体在两个门型开口之间的切换；以及，驱动门体沿侧壁的延展方向运动、以实现门体与侧壁上的门型开口之间的开关配合。上述真空阀门中，在对一侧门型开口的密封圈进行清理和更换操作时，不会影响另一侧门型开口所连通的真空腔室的工作；因此，该真空阀门可以提高真空设备的稼动率。

主权项

一种真空阀门，其特征在于，包括：密封壳体，所述壳体呈方形设置，且所述壳体相对的两个侧壁上分别设有门型开口，两个所述门型开口相对设置；门体，所述门体位于所述壳体内，且可分别与所述两个门型开口开关配合；传动模块，所述传动模块用于：驱动所述门体在所述两个侧壁之间水平移动、以实现门体在所述两个门型开口之间的切换；以及，驱动所述门体沿所述侧壁的延展方向运动、以实现门体与所述侧壁上的门型开口之间的开关配合。