| 发明名称 | 第5族金属氧代‑烷氧代络合物、其制造方法以及第5族金属氧化物膜的制作方法 | ||
| 摘要 | 提供对于制作第5族金属氧化物膜而言为有用的化合物。其为下述通式(A)所示的第5族金属氧代‑烷氧代络合物，制备含有该化合物和有机溶剂的制膜用材料溶液，使用该制膜用材料溶液，可以制作第5族金属氧化物膜。M<sub>α</sub>(μ<sub>4</sub>‑O)<sub>β</sub>(μ<sub>3</sub>‑O)<sub>γ</sub>(μ‑O)<sub>δ</sub>(μ‑OR<sup>A</sup>)<sub>ε</sub>(OR<sup>A</sup>)<sub>ζ</sub>(R<sup>A</sup>OH)<sub>η</sub>X<sub>θ</sub>Y<sub>ι</sub> (A)(式中，M表示铌原子等、R<sup>A</sup>表示烷基、X表示亚烷基二氧基、Y表示羧基等、α表示3～10、β表示0～1、γ表示0～8、δ表示2～9、ε表示0～6、ζ表示6～16、η表示0～4、θ表示0～2、ι表示0～6的整数)。 | ||
| 申请公布号 | CN104884417B | 申请公布日期 | 2017.03.15 |
| 申请号 | CN201380068922.X | 申请日期 | 2013.12.27 |
| 申请人 | 东曹株式会社;公益财团法人相模中央化学研究所 | 发明人 | 浅野祥生;木下智之;原靖;原大治;田中陵二;多田贤一 |
| 分类号 | C07C31/28(2006.01)I;C07C29/68(2006.01)I;C07C33/26(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L21/288(2006.01)I;H01L21/316(2006.01)I;C07F9/00(2006.01)I | 主分类号 | C07C31/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种第5族金属氧代‑烷氧代络合物，其特征在于，其用通式(1)、化学式(3)、化学式(4)或化学式(5)表示：M<sub>A</sub>(μ<sub>4</sub>‑O)<sub>B</sub>(μ<sub>3</sub>‑O)<sub>C</sub>(μ‑O)<sub>D</sub>(μ‑O<sup>t</sup>Bu)<sub>E</sub>(O<sup>t</sup>Bu)<sub>F</sub> (1)式(1)中，M表示铌原子或钽原子；A、B、C、D、E、F分别表示10、1、8、8、0、16或者9、1、5、9、1、14的数值，<img file="FDA0001105915270000011.GIF" wi="939" he="2058" /> | ||
| 地址 | 日本山口县 | ||