发明名称 | 高精度电动扫描台及控制方法 | ||
摘要 | 本发明提供了一种高精度电动扫描台及控制方法,包括:支撑底板、运动下板、运动上板、直线电机、光栅尺、限位开关、电缆接插件、控制驱动器,通过两个直线电机带动运动上板和运动下板进行XY扫描运动,并利用光栅尺进行精确定位。高精度电动扫描台仅依靠I/O引脚的脉冲信号输入和高低电平输出实现电动扫描台的回零操作、加减速及匀速运动和插补联动等操作控制以及指令执行状态反馈。本发明提供的高精度电动扫描台响应速度快、定位精度高,低速性能好,控制方便,可用于工业视觉检测扫描台、显微镜扫描载物台等自动控制,尤其适用于高分辨率全自动数字显微镜。 | ||
申请公布号 | CN106500743A | 申请公布日期 | 2017.03.15 |
申请号 | CN201610936245.4 | 申请日期 | 2016.11.01 |
申请人 | 上海交通大学 | 发明人 | 关新平;谷朝臣;吴开杰;程昊;孙嘉伟 |
分类号 | G01D11/00(2006.01)I | 主分类号 | G01D11/00(2006.01)I |
代理机构 | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人 | 郭国中 |
主权项 | 一种高精度电动扫描台,其特征在于,包括:支撑底板(1)、运动下板(2)、运动上板(3)以及直线磁轴电机,所述运动下板(2)设置在支撑底板(1)上,所述运动上板(3)位于运动下板(2)上,所述运动下板(2)和运动上板(3)分别与一直线磁轴电机相连;且所述支撑底板(1)上表面与运动下板(2)下表面之间,以及运动下板(2)上表面与运动上板(3)下表面之间分别设置有匹配的滚动/滑动导轨副(4)。 | ||
地址 | 200240 上海市闵行区东川路800号 |