| 发明名称 | 一种离子源 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种离子源，包括：气体电离装置、离子光学系统和等离子体桥式中和器；所述离子源还包括用于检测等离子体电位径向分布的电位检测装置(4)，以及用于调整所述等离子体桥式中和器(3)位置的夹角调节装置(5)，所述电位检测装置(4)置于离子源的出射位置，并与所述夹角调节装置(5)连接。本实用新型可以在离子源采用不同的离子束参数时，根据等离子体电位径向分布来动态调整等离子体桥式中和器的位置，从而达到最佳的中和效果。 | ||
| 申请公布号 | CN206022304U | 申请公布日期 | 2017.03.15 |
| 申请号 | CN201621026077.7 | 申请日期 | 2016.08.31 |
| 申请人 | 北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司 | 发明人 | 刁克明 |
| 分类号 | H01J37/08(2006.01)I;H01J37/04(2006.01)I;H01J37/147(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京格允知识产权代理有限公司 11609 | 代理人 | 周娇娇;谭辉 |
| 主权项 | 一种离子源，包括：气体电离装置(1)、离子光学系统(2)和等离子体桥式中和器(3)；其特征在于：所述离子源还包括用于检测等离子体电位径向分布的电位检测装置(4)，以及用于调整所述等离子体桥式中和器(3)位置的夹角调节装置(5)，所述电位检测装置(4)置于离子源的出射位置，并与所述夹角调节装置(5)连接。 | ||
| 地址 | 100071 北京市丰台区小屯路150号 | ||