一种基于表面等离激元共振腔的纳米光学压力传感器

摘要

一种基于表面等离激元共振腔的纳米光学压力传感器。该传感器由“∏”字型表面等离激元共振腔和表面等离激元波导耦合构成。入射激光在波导中激发表面等离激元，当入射光的波长与“∏”字型表面等离激元共振腔的共振波长匹配时，可以将表面等离激元的能量耦合进入“∏”字型表面等离激元共振腔。通过测量表面等离激元波导的光强就可以测量出“∏”字型表面等离激元共振腔的共振波长。由于“∏”字型表面等离激元共振腔的共振波长会在外加压力下改变，因此可以测量出外加的压力。由于表面等离激元的波长远远小于光波，所以“∏”字型表面等离激元共振腔的尺寸可以做到1μm以下。

主权项

一种基于表面等离激元共振腔的纳米光学压力传感器，其特征是：由“Π”字型表面等离激元共振腔和表面等离激元波导耦合构成，“Π”字型表面等离激元共振腔是由金属内中空的一条横槽和两条竖槽构成，横槽的方向与金属的表面平行而且横槽的槽壁到金属表面的距离很短，在外加压强下，横槽靠近金属表面的槽壁会发生弹性形变，两条竖槽分别与横槽直接相连且均在远离金属表面的一侧。