改进的振动陀螺仪

摘要

一种传感装置，其包括微机械陀螺仪，所述陀螺仪包括：改进的具有微机械陀螺仪(51)的传感装置，其中，第一机械共振器(52)的共振频率和第二机械共振器(53)的共振频率被调整为基本一致。所述装置包括连接至所述第二机械共振器(53)的反馈回路，所述反馈回路和所述第二机械共振器(53)的组合的品质因数小于10。在基本上不增加传感器装置构造的复杂度的情况下实现了更加精确的感测。

主权项

一种传感装置，其包括微机械陀螺仪，所述陀螺仪包括：用于驱动模式振动的第一机械共振器；第二机械共振器，所述第二机械共振器耦合至所述第一机械共振器并且用于与角速度相对应的感测模式振动，其中，所述第一机械共振器的共振频率和所述第二机械共振器的共振频率最初被调整为基本一致，其特征在于，还包括阻尼反馈回路，所述阻尼反馈回路连接至所述第二机械共振器，所述反馈回路和所述第二机械共振器的组合的品质因数小于10，其中所述反馈回路包括换能器元件和控制元件；所述换能器元件包括第一换能器和第二换能器；所述第一换能器被构造为输出与所述感测模式振动相对应的第一电信号；所述控制元件被构造为从所述第一换能器接收所述第一电信号并且根据特定的响应函数生成第二电信号，所述响应函数限定了所述第一电信号的值与所述第二电信号的值之间的对应性；所述控制元件被构造为将所述第二电信号馈入所述第二换能器；所述第二换能器被构造为对所述第二机械共振器施加与所述第二电信号相对应的反向力；所述控制元件是信号处理滤波器，所述信号处理滤波器的响应函数具有与所述第二机械共振器的共振频率基本一致的共振频率峰值。