发明名称 |
多晶硅的晶体取向度评价方法以及多晶硅棒的选择方法 |
摘要 |
针对从多晶硅棒采集的圆板状试样(20)进行评价时,会在<img file="DDA0000581159630000011.GIF" wi="51" he="59" />扫描图表中出现峰值。这种峰值的个数越少,或者其半峰宽越窄,越适合用作单晶硅制造用原料。<img file="DDA0000581159630000012.GIF" wi="50" he="59" />扫描图表中出现的峰值的个数,对于米勒指数面<111>及<220>的任一个,优选在圆板状试样的每单位面积的换算下为24根/cm<sup>2</sup>以下。并且,将圆板状试样的半径设为R<sub>0</sub>时,将上述峰值的半峰宽乘以δL=2<sup>1/2</sup>πR<sub>0</sub>/360得到的值定义为非均质晶体粒径,优选将该非均质晶体粒径均小于0.5mm的试样选择作为单晶硅制造用原料。 |
申请公布号 |
CN104220867B |
申请公布日期 |
2017.03.15 |
申请号 |
CN201380018491.6 |
申请日期 |
2013.03.29 |
申请人 |
信越化学工业株式会社 |
发明人 |
宫尾秀一;冈田淳一;祢津茂义 |
分类号 |
G01N23/20(2006.01)I;C01B33/02(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
G01N23/20(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
权太白;谢丽娜 |
主权项 |
一种多晶硅的晶体取向度评价方法,是通过X射线衍射法评价多晶硅的晶体取向度的方法,其特征在于,将上述多晶硅作为板状试样,将上述板状试样配置于能够检测到来自米勒指数面<hkl>的布拉格反射的位置,以使由狭缝确定的X射线照射区域在上述板状试样的主面上进行<img file="FDA0001134674820000011.GIF" wi="54" he="68" />扫描的方式以上述板状试样的中心为旋转中心以旋转角度<img file="FDA0001134674820000012.GIF" wi="50" he="70" />进行面内旋转,求出表示来自上述米勒指数面<hkl>的布拉格反射强度的上述板状试样的旋转角度<img file="FDA0001134674820000013.GIF" wi="41" he="63" />依赖性的图表,以该图表中出现的峰值的个数来评价多晶硅的晶体取向度。 |
地址 |
日本东京都 |