一种连续自动真空镀膜设备

摘要

本发明涉及一种连续自动真空镀膜设备，包括真空镀膜室，真空镀膜室的内部上设有靶材，真空镀膜室上设有工件进口以及工件出口，工件进口处设有进口阀门，工件出口处设有出口阀门，工件进口处设有工件真空预热室，工件真空预热室上设有预热室进口阀，工件真空预热室内设有加热装置，工件出口处设有工件真空冷却室，工件真空冷却室上设有冷却室出口阀，工件真空冷却室内设有冷却装置，真空镀膜室、工件真空预热室以及工件真空冷却室内贯穿着用于传送工件的输送链条，输送链条上设有用于夹持工件的夹持装置。保证真空镀膜室始终处于真空状态，能够连续进行镀膜，提高工作效率，提高产品的镀膜质量。

主权项

一种连续自动真空镀膜设备，包括真空镀膜室(1)，所述的真空镀膜室(1)的内部上设有靶材，所述的真空镀膜室(1)上设有工件进口以及工件出口，所述的工件进口处设有进口阀门(5)，所述的工件出口处设有出口阀门(6)，其特征是：所述的工件进口处设有工件真空预热室(2)，所述的工件真空预热室(2)上设有预热室进口阀(4)，所述的工件真空预热室(2)内设有加热装置，所述的工件出口处设有工件真空冷却室(3)，所述的工件真空冷却室(3)上设有冷却室出口阀(7)，所述的工件真空冷却室(3)内设有冷却装置，所述的真空镀膜室(1)、工件真空预热室(2)以及工件真空冷却室(3)内贯穿着用于传送工件(12)的输送链条(9)，所述的输送链条(9)上设有用于夹持工件的夹持装置(8),所述的夹持装置(8)包括固定在输送链条(9)上的固定支架(81)和活动支架(82)，所述的固定支架(81)上设有一供活动支架(82)穿过的固定孔，所述的活动支架(82)上设有一限位块(83)，限位块(83)位于固定孔的上方，所述的活动支架(82)底部设有一用于夹持工件(12)的夹持端。