能防止断气的充气系统及晶圆充气系统

摘要

本实用新型提供了充气系统。充气系统包含：主进气管路、气动开关单元、副进气管路及电动开关单元。气动开关单元能选择地阻断主进气管路。副进气管路连接主进气管路及气动开关单元，电动开关单元能选择性阻断副进气管路。电动开关单元能于第一通电模式或由第一通电模式转换为断电状态时，使副进气管路两端连通并启气动开关单元，而让主进气管路两端相通；电动开关单元能于第二通电模式或由第二通电模式转换为断电状态时，使副进气管路不连通，而使气动开关单元保持关闭。如此，充气系统在不预期断电的状态下，仍可持续地进行充气作业。

主权项

一种能防止断气的充气系统,其特征在于,能防止断气的充气系统用以对一晶圆容置空间填充气体，所述能防止断气的充气系统包含：一主进气管路，两端分别定义为一进气端及一出气端；一气动开关单元，设置于所述主进气管路，且邻近于所述出气端，所述气动开关单元能选择性地阻断所述进气端与所述出气端的连通；一副进气管路，两端分别与所述主进气管路及所述气动开关单元相连接；以及一电动开关单元，设置于所述副进气管路，且所述电动开关单元能于一第一通电模式，使所述副进气管路的两端彼此连通，且所述电动开关单元能于所述第一通电模式转换为一断电状态时，保持所述副进气管路两端的彼此连通；所述电动开关单元能于一第二通电模式，使所述副进气管路的两端彼此不相连通，且所述电动开关单元能于由所述第二通电模式转换为所述断电状态时，保持所述副进气管路两端彼此的不相连通；其中，所述电动开关单元于所述第一通电模式或由所述第一通电模式转换为所述断电状态时，所述主进气管路的气体能通过所述副进气管路，而驱动所述气动开关单元，以使所述主进气管路的两端彼此相连通，进而使由所述进气端进入的气体能由所述出气端输出；所述电动开关单元于所述第二通电模式或由所述第二通电模式转换为所述断电状态时，所述主进气管路的气体无法通过所述副进气管路而驱动所述气动开关单元，而所述气动开关单元阻断所述主进气管路两端的连通。