确定等离子体系统中的故障装置

摘要

本发明描述了确定等离子体系统中的故障装置，具体涉及用于确定在等离子体系统中的故障装置的系统和方法。方法中的一种包括接收等离子体系统的等离子体室中是否产生等离子体的指示。所述等离子体系统包括处理部分和功率传输部分。该方法还包括响应于接收到产生所述等离子体的指示判定等离子体系统是否在限制范围内操作，在所述处理部分从所述功率传输部分解耦时，确定在功率传输部分的输出处的变量的值，以及将所确定的值与所述变量的预记录值进行比较。该方法包括判定所确定的值是否在所述预记录值的范围之外，并在判定所确定的值在所述预记录值的所述范围之外时，确定所述功率传输部分内的故障装置。

主权项

一种用于确定故障装置的系统，所述系统包括：一个或多个等离子体处理工具，每个等离子体处理工具包括用于处理工件的一个或多个等离子体模块，每个等离子体处理工具包括用于将所述工件在所述等离子体模块中的两个之间传送的传输模块，每个等离子体模块包括功率传输部分和处理部分，所述功率传输部分用于产生射频功率以提供到所述处理部分，以产生等离子体；耦合到所述一个或多个工具的计算设备，所述计算设备包括处理器，所述处理器用于：判定所述等离子体模块中的任何一个是否在限制范围内操作；响应于判定所述等离子体模块不在所述限制范围内操作，确定在所述功率传输部分的输出处的变量的值，其中，在所述功率传输部分与已知负载耦合并且从所述处理部分的等离子体室解耦时确定所述值；将所确定的值与所述变量的预记录值比较，以判定所确定的值是否在所述预记录值的范围之外；以及响应于判定所确定的值在所述预记录值的所述范围之外，确定故障装置在所述功率传输部分的输入和所述功率传输部分的输出之间。