| 发明名称 | 保形中间层的制作方法 | ||
| 摘要 | 一种保形中间层的制作方法，包含对单体溶液进行第一聚合工艺以形成经部分处理的树脂溶液，此经部分处理的树脂溶液包含溶剂及硅基的树脂；将经部分处理的树脂溶液旋涂在基板上；及对经部分处理的树脂溶液进行第二聚合工艺以使经部分处理的树脂溶液收缩来形成硅基的保形树脂层。此收缩允许产生较为保形且较均匀的中间层，让中间层的厚度变化可小于15％。 | ||
| 申请公布号 | CN106502053A | 申请公布日期 | 2017.03.15 |
| 申请号 | CN201510859943.4 | 申请日期 | 2015.11.30 |
| 申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 刘朕与;张庆裕;翁明晖 |
| 分类号 | G03F7/11(2006.01)I;G03F7/16(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/11(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国 |
| 主权项 | 一种保形中间层的制作方法，其特征在于，包含：对一单体溶液执行一第一聚合工艺以形成一经部分处理的树脂溶液，该经部分处理的树脂溶液包含一溶剂及一硅基的树脂；将该经部分处理的树脂溶液旋涂在一基板上；以及对该经部分处理的树脂溶液执行一第二聚合工艺以使该经部分处理的树脂溶液收缩以形成一保形的硅基的树脂层。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号 | ||