超声波检查装置、超声波检查系统以及超声波检查方法

摘要

一种超声波检查装置、超声波检查系统以及超声波检查方法，即使是怕水的工件，也能够使与水的接触为最小限度，并且能够通过超声波检查得到良好的图像。超声波检查装置具备：超声波探头(21)，其向工件(w)照射超声波，接收其反射波；X轴驱动装置(25)和Y轴驱动装置(26)，其使超声波探头(21)以相对于工件(w)在水平方向上扫描的方式动作；Z轴驱动装置(27)，其使超声波探头(21)相对于工件(w)进行升降；供水部(22)，其被设置于超声波探头(21)，向超声波探头(21)的探头前端部(211)与工件(w)之间供给限定为预定量的水(a)；以及吸水部(23)，其被设置于超声波探头(21)，吸取由供水部(22)供水后的水(a)。

主权项

一种超声波检查装置，其特征在于，具备：超声波探头，其向工件照射超声波，接收其反射波；扫描装置，其使上述超声波探头以相对于上述工件在水平方向上扫描的方式动作；第1升降装置，其使上述超声波探头相对于上述工件进行升降；供水部，其被设置于上述超声波探头的侧部，在将上述超声波探头的凹透镜形状的探头前端部移动到上述工件的预定位置的正上方后，供给限定为在通过表面张力粘着在上述探头前端部和上述工件上的状态下能够保持的最低限的预定量的水，以便填满上述探头与上述工件之间；以及吸水部，其被设置于上述超声波探头的侧部，吸取通过上述供水部供水后的水。