直拉法生产单晶硅用连续加料装置

摘要

本实用新型公开的直拉法生产单晶硅用连续加料装置，包括装料仓和提拉装置，装料仓从上到下包括依次相连的装填部、缩径部以及通道部，缩径部设置有挡料块，通道部内设置有加料筒，加料筒下端面通过加料筒挡板进行开合，加料筒挡板上连接有加料筒连杆，提拉装置包括相连的动力组件和提拉绳，提拉绳穿过挡料块后与加料筒连杆相连。本实用新型的直拉法生产单晶硅用连续加料装置解决了现有的加料器由于单次加料量少导致加料次数多、加料占时长的问题，其设置装料仓存放原料和进行内部气体净化，需要加料时将其倾倒入加料筒中，然后到达特定位置打开加料筒挡板实现向石英坩埚内加料工序，其一次加料可满足拉制一根单晶。

主权项

直拉法生产单晶硅用连续加料装置，其特征在于，包括装料仓(3)和提拉装置，所述装料仓(3)从上到下包括依次相连的装填部、缩径部以及通道部，所述装填部的上端面具有可开合顶盖，所述通道部的下端面通过法兰与单晶炉副室阀仓(9)固定，所述缩径部设置有封堵用的挡料块(5)，所述通道部内设置有加料筒(7)，所述加料筒(7)下端面通过加料筒挡板(8)进行开合，所述加料筒挡板(8)上连接有加料筒连杆(6)，所述加料筒连杆(6)长度大于加料筒(7)的长度，所述加料筒(7)的上端面连接有限位法兰且所述限位法兰直径大于所述单晶炉副室阀仓(9)的直径，所述提拉装置包括相连的动力组件和提拉绳(2)，所述提拉绳(2)穿过所述挡料块(5)后与所述加料筒连杆(6)相连。