一种硅料生产用坩埚装置

摘要

本实用新型创造提供了一种硅料生产用坩埚装置，包括石墨坩埚、石英坩埚和阻气环，所述石英坩埚设置在石墨坩埚内，该石英坩埚顶部高出石墨坩埚，该石英坩埚锅帮和石墨坩埚锅帮间存在间隙，在该间隙内设有支撑结构，所述支撑结构设有和外界相通的气道，所述阻气环套装在石英坩埚顶部外侧，该阻气环底面和石墨坩埚顶面间留有排气空间。本实用新型创造所述的一种硅料生产用坩埚装置中，在石英坩埚锅帮和石墨坩埚锅帮间设置了支撑结构，支撑结构设有和外界相通的气道，一方面减少了石英坩埚埚帮与石墨坩埚埚帮的接触面积，进而较少了CO的产生量；同时改变了生产过程中CO气流的流向，减少其进入硅液的几率，最终达到降低单晶硅中碳含量的目的，降碳效果明显。

主权项

一种硅料生产用坩埚装置，其特征在于：包括石墨坩埚(1)、石英坩埚(2)和阻气环(3)，所述石英坩埚(2)设置在石墨坩埚(1)内，该石英坩埚(2)顶部高出石墨坩埚(1)顶部，该石英坩埚锅帮(21)和石墨坩埚锅帮(11)间存在间隙，在该间隙内设有支撑结构，所述石墨坩埚锅帮(11)和石英坩埚锅帮(21)通过支撑结构连接，所述支撑结构设有和外界相通的气道(4)，所述阻气环(3)套装在石英坩埚(2)顶部外侧，该阻气环(3)和石英坩埚(2)在连接处密封连接，所述阻气环(3)外径大于石墨坩埚(1)顶部内径，该阻气环(3)底面和石墨坩埚(1)顶面间留有排气空间。