发明名称 |
熔区附加磁场装置及具有其的VGF单晶生长炉 |
摘要 |
本发明提供了一种熔区附加磁场装置及具有其的VGF单晶生长炉,所述磁场装置包括磁体及内外导磁板,套设于单晶炉外采用中心对称布置,用于在VGF单晶生长炉内产生磁场,其中内导磁板位于单晶炉与磁体之间,且与单晶炉和磁体相接触,外导磁板位于磁体远离内导磁板的一侧。本发明采用对称的永磁场能够有效地抑制单晶炉中的熔体对流,并降低固液界面的温度波动,提高晶体质量。 |
申请公布号 |
CN106498487A |
申请公布日期 |
2017.03.15 |
申请号 |
CN201611027330.5 |
申请日期 |
2016.11.17 |
申请人 |
北京鼎泰芯源科技发展有限公司 |
发明人 |
杨柏;赵有文;方聪;王凤华;董志远;高永亮;王俊 |
分类号 |
C30B11/00(2006.01)I;C30B30/04(2006.01)I |
主分类号 |
C30B11/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 |
代理人 |
陈英俊;许向彤 |
主权项 |
一种熔区附加磁场装置,其特征在于,所述磁场装置包括磁体及内外导磁板,套设于单晶炉外采用中心对称布置,用于在VGF单晶生长炉内产生磁场,其中内导磁板位于单晶炉与磁体之间,且与单晶炉和磁体相接触,外导磁板位于磁体远离内导磁板的一侧。 |
地址 |
100080 北京市海淀区海淀大街3号楼B座10层340 |