一种感光膜旋转涂布装置

摘要

本发明公开了一种感光膜旋转涂布装置，包括以真空吸附方式支撑基板的卡盘，设于基板上方的喷嘴以及固定在卡盘的底部用于驱动卡盘旋转的旋转轴，还包括设于基板外围，固定在卡盘上，用于阻断、集结没在基板上面涂布而脱离基板散开的感光膜的阻隔单元，所述阻隔单元的外围还设有壳体；阻隔单元包括水平部和侧壁部，侧壁部为面向基板呈凹状，面向壳体呈凸状的曲线结构，越往上越接近卡盘的中心，侧壁部的上端呈倒三角形。本发明所提供的感光膜旋转涂布装置可提高被旋转涂布的感光膜的可靠性。

主权项

一种感光膜旋转涂布装置，包括以真空吸附方式支撑基板的卡盘，设于基板上方的喷嘴以及固定在卡盘的底部用于驱动卡盘旋转的旋转轴，其特征在于：还包括设于基板外围，固定在卡盘上，用于阻断、集结没在基板上面涂布而脱离基板散开的感光膜的阻隔单元，所述阻隔单元的外围还设有壳体；阻隔单元包括水平部和侧壁部，侧壁部为面向基板呈凹状，面向壳体呈凸状的曲线结构，越往上越接近卡盘的中心，侧壁部的上端呈倒三角形。