发明名称 |
用于生产多晶硅的还原炉及改善多晶硅表面菜花的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种用于生产多晶硅的还原炉及改善多晶硅表面菜花的方法,该还原炉包括底盘、硅芯、设置于底盘上的进料喷嘴和硅芯底座,硅芯底座将硅芯固定于底盘上,以底盘为基准面,进料喷嘴的高度为硅芯底座高度的1/2~1/4。本发明降低了多晶硅表面菜花占比,既能使得进料喷嘴喷出的物料能够到达硅芯顶部,又保证了还原炉内沉积反应的速度。还原炉运行过程中,本发明中的进料喷嘴的高度设置防止了进料喷嘴高度过低使得进料喷嘴喷出的物料的混合气到达不了还原炉顶部,本发明中的进料喷嘴的高度设置使得从还原炉底部进料喷嘴进来的混合气能够使还原炉顶部的气体层发生湍流,还原炉内硅芯顶部温度均匀,硅棒表面沉积均匀。 |
申请公布号 |
CN106495162A |
申请公布日期 |
2017.03.15 |
申请号 |
CN201510564863.6 |
申请日期 |
2015.09.07 |
申请人 |
新特能源股份有限公司 |
发明人 |
桑友雷 |
分类号 |
C01B33/03(2006.01)I |
主分类号 |
C01B33/03(2006.01)I |
代理机构 |
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 |
代理人 |
罗建民;邓伯英 |
主权项 |
一种用于生产多晶硅的还原炉,包括底盘、硅芯、设置于所述底盘上的进料喷嘴和硅芯底座,所述硅芯底座将所述硅芯固定于所述底盘上,其特征在于,以所述底盘为基准面,所述进料喷嘴的高度为所述硅芯底座高度的1/2~1/4。 |
地址 |
830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区(新市区)甘泉堡高新技术产业园 |