| 摘要 |
本発明の複合基板は、直径２インチ以上の支持基板と、前記支持基板に接合されてなり、厚みが２０μｍ以下で光を透過する圧電基板と、を備えた複合基板であって、前記圧電基板は、縞状の厚み分布を有し、前記縞に直交する線に沿って前記複合基板を切断した断面における、前記圧電基板の厚み分布に、厚み方向の振幅が５ｎｍ以上１００ｎｍ以下で幅方向のピッチが０．５ｍｍ以上２０ｍｍ以下の波形が現れ、該波形のピッチは前記縞の幅と相関がある。圧電基板において、前記縞は、平行な縞でもよいし、渦巻き状又は同心円状の縞でもよい。 |
