光照射装置

摘要

本发明提供一种光照射装置，对照射面上的规定照射位置照射延伸于第1方向，且在第2方向上具有规定线宽的线形的光线的光照射装置具备多个光学单元，该光学单元具有在基板上沿着第1方向排列的多个光源、和以使来自各光源的光线成为大致平行光的方式整形的多个光学元件，且对照射面射出平行于第1方向的线形光线。多个光学单元由射出N种(N为2以上的整数)不同波长光线的N×M个(M为1以上的整数)光学单元构成，N×M个光学单元从第1方向观察时，N种不同波长光线的光路在以照射位置为中心的圆周方向上以规定顺序排列，且从N×M个光学单元射出的各波长光线被配置为照射至第2方向的范围均在规定线宽内。

主权项

一种光照射装置，其对照射面上的规定照射位置照射延伸于第1方向，且在与所述第1方向正交的第2方向上具有规定线宽的线形光线，其特征在于：具备多个光学单元，该光学单元具有在基板上沿着所述第1方向每隔规定间隔排列，在所述基板面正交的方向上对齐光轴的朝向所配置的多个光源，与配置于所述各光源的光路，并以将来自所述各光源的光线成为大致平行光的方式整形的多个光学元件，并且以规定光量对所述照射面射出平行于所述第1方向的线形光线，所述多个光学单元由射出N种不同波长光线的N×M个光学单元构成，其中，N为2以上的整数，M为1以上的整数；所述N×M个光学单元配置成在从所述第1方向观察时，所述N种不同波长光线的光路在以所述照射位置为中心的圆周方向上以规定顺序排列，且从所述N×M个光学单元射出的各波长的光线照射至所述第2方向的范围分别在所述规定线宽内，所述N×M个光学单元配置成在从所述第1方向观察时，所述N种类的不同波长的光线中，任意一个波长的光线的光路以所述照射位置的垂线为对称轴，成为线对称，将所述任意一个波长的光线的相对于所述照射面的各入射角设为θi，i为从1到M的整数，将所述任意一个波长的光线照射至所述第2方向的范围的总和设为α0，将所述其他波长的光线的相对于所述照射面的各入射角设为θk，k为从1到M的整数，将所述其他波长的光线照射至所述第2方向的范围的总和设为α1，将规定值设为β时，满足以下的公式：【公式】${\alpha }_0=\underset{i=1}{\overset{M}{\Sigma }}\frac{1}{{\mathrm{cos\theta }}_i}$${\alpha }_1=\underset{k=1}{\overset{M}{\Sigma }}\frac{1}{{\mathrm{cos\theta }}_k}$β＝α₀‑α₁≤0.21。