一种应力隔离的MEMS惯性传感器

摘要

本发明公开了一种应力隔离的MEMS惯性传感器，包括衬底，以及位于衬底上方的应力隔离层，所述应力隔离层通过第一锚点固定在衬底上，所述应力隔离层位于第一锚点两侧的位置悬置在衬底的上方；在所述应力隔离层的上端设置有敏感结构。本发明的MEMS惯性传感器，在外界的温度和应力变化时，产生的应变从衬底进入，通过第一锚点传到应力隔离层，再传输至敏感结构上，使得整个敏感结构对温度和应力所产生的应变具有一致的响应，通过敏感结构自身的差分结构就可以把这样的共模信号完全消除掉，从而使这种外界因素引起的信号不会叠加在惯性信号上，也就是说，该传感器最终输出的是完全由惯性所引起的信号变化。

主权项

一种应力隔离的MEMS惯性传感器，其特征在于：包括衬底(1)，以及位于衬底(1)上方的应力隔离层(2)，所述应力隔离层(2)通过第一锚点(20)固定在衬底(1)上，所述应力隔离层(2)位于第一锚点(20)两侧的位置悬置在衬底(1)的上方；在所述应力隔离层(2)的上端设置有敏感结构(4)。