一种铜锌锡硫薄膜的光化学制备方法及其铜锌锡硫薄膜与铜锌锡硫太阳能电池

摘要

本发明属于半导体光电材料与器件技术领域，具体公开了一种铜锌锡硫薄膜的光化学制备方法及其铜锌锡硫薄膜与铜锌锡硫太阳能电池；所述铜锌锡硫薄膜是在紫外光的照射下在衬底上进行沉积，由于沉积是在液相中进行的，反应是低温沉积过程，因此避免了衬底的氧化和腐蚀；而且反应的基本基团是离子，较容易沉积得到均匀一致的薄膜；另外，薄膜的沉积只在紫外光光照的位置发生，因此可以通过控制光斑的位置和形状来控制薄膜形状，通过控制紫外光的照射时间来控制薄膜厚度；该方法生产成本低，设备简单，反应条件温和，对材料的利用率高，容易制备出大面积较均匀的薄膜。

主权项

一种铜锌锡硫薄膜的光化学制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1. 将含铜化合物溶液、含锌化合物溶液、含锡化合物溶液、络合剂、酸碱调节剂和含S₂O₃^2‑的硫源混合，调节混合溶液的pH为3.0～4.0；S2. 将清洗干净的衬底浸渍在混合溶液中，利用紫外光照射衬底一段时间形成铜锌锡硫薄膜前驱体；S3. 将铜锌锡硫薄膜前驱体在硫气氛下400～600℃退火0.5～2h获得铜锌锡硫薄膜；所述紫外光为脉冲紫外光；所述脉冲紫外光的照射条件为：波长254nm、功率50～500MW/cm²、时间20～40min。