基于介电泳效应的超声波研磨微小凹模加工设备

摘要

一种基于介电泳效应的超声波研磨微小凹模加工设备，包括用于存放研磨液的容器，容器的内腔底面为工作台，工作台上固定基片，基片的上方依次布置定位板和振动板；基片上安装第一电极板，定位板上安装第二电极板，定位板的两侧开有下安装孔，振动板的两侧开有上安装孔，销钉下端固定在基片上，定位板的中部开有供研磨球安装的定位孔，定位孔内安装研磨球，研磨球的上端与振动板的底面接触，振动板的顶面与振动杆的下端接触，振动杆的上端与换能器的输出端连接，换能器与超声波发生器连接。本发明利用介电泳力增加磨粒和研磨液在加工区驻留时间和磨粒数量，能够兼顾加工精度和加工效率、加工一致性较好、简化加工装置的控制模式。

主权项

一种基于介电泳效应的超声波研磨微小凹模加工设备，其特征在于：所述加工设备包括用于存放研磨液的容器，所述容器的内腔底面为工作台，所述工作台上固定基片，所述基片的上方依次布置定位板和振动板，所述的基片上安装第一电极板，所述第一电极板与交流电源的第一引出端连接，所述定位板上安装第二电极板，所述第二电极板与所述交流电源的第二引出端连接，所述的交流电源的电流输入端与用于控制所述的交流电源的电压与频率的调频调压控制器连接；所述振动板位于所述定位板的上方，所述定位板的两侧开有下安装孔，所述振动板的两侧开有上安装孔，销钉下端固定在所述基片上，所述销钉的中部设有自上而下布置的上凸包和下凸包，销钉穿过所述上安装孔和下安装孔，所述上凸包与所述上安装孔点接触式连接，所述下凸包和所述下安装孔点接触式连接，所述定位板的中部开有供研磨球安装的定位孔，所述定位孔内安装研磨球，所述研磨球的上端与所述振动板的底面接触，所述研磨球与所述基片之间为供待加工的工件放置的加工工位，所述振动板的顶面与振动杆的下端接触，所述振动杆的上端与换能器的输出端连接，所述换能器与超声波发生器连接。