一种真空室内电子束束斑检测器靶座

摘要

本发明公开了一种真空室内电子束束斑检测器靶座，靶座采用扁平立体三角形结构设计，三角形的中间镂空，三角形的顶部和底部分别开有通孔，三角形的两等边面设有带刻度的靶安装槽，靶安装槽中装有半透半反的靶片，三角形的底面设有靶座安装位。三角形的左右两斜边互相垂直，三角形的底部设有一个长方形靶基，所述靶座安装位设于所述长方形靶基的底部。靶片安装槽为三边卡位、一边开放的卡槽式结构。靶片安装位卡槽的上边、下边和一条侧边设有精密刻度线。当安装OTR类型的靶片时，电子穿透靶座的中间镂空部位在两个靶片上同时获得束斑和光斑图像。能够进行波荡器处扁平真空室内电子束束斑和参考激光的位置测量，减小真空室空间占用以适用于波荡器的扁平真空室内使用，并实现电子束和参考激光的定位。

主权项

一种真空室内电子束束斑检测器靶座，其特征在于，靶座采用扁平立体三角形结构设计，三角形的中间镂空，三角形的顶部和底部分别开有通孔，三角形的两等边面设有带刻度的靶安装槽，所述靶安装槽中装有半透半反的靶片，三角形的底面设有靶座安装位。