一种自驱动光探测器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种自驱动光探测器及其制作方法，涉及光探测技术领域，能够实现自驱动光电探测，且响应时间短、响应度高、能够对具有一定波长范围的光线进行探测。该自驱动光探测器包括基底，位于所述基底上的沟道层，位于所述沟道层上的栅介质层，位于所述栅介质层上的栅极，以及与所述沟道层的两端连接的银电极和铂电极，所述沟道层的材料为二维二硫化钼，所述沟道层包括1~5个原子层。本发明用于进行光探测。

主权项

一种自驱动光探测器，其特征在于，所述探测器包括：基底、位于所述基底上的沟道层、位于所述沟道层上的栅介质层、位于所述栅介质层上的栅极，以及与所述沟道层的两端连接的银电极和铂电极，在形成了所述银电极和所述铂电极的所述基底上，依次形成栅介质层和栅极，所述栅极与所述铂电极连接；所述沟道层的材料为二维二硫化钼，所述沟道层包括1～5个原子层。