发明名称 一种化学镀铜液及其制备方法和一种化学镀铜方法
摘要 本发明提供了一种化学镀铜液及其制备方法,所述化学镀铜液中含有铜盐、络合剂、稳定剂、还原剂和表面活性剂,所述化学镀铜液中还含有咪唑喹啉酸。本发明还提供了所述化学镀铜液的制备方法以及采用该化学镀铜液进行化学镀镀的方法。本发明提供的化学镀铜液,通过在常用的化学镀铜液中新增咪唑喹啉酸,能有效改善镀液的活性和稳定性,尤其适用于LDS镀铜工艺,且镀速快。
申请公布号 CN104018140B 申请公布日期 2017.03.15
申请号 CN201310063797.5 申请日期 2013.02.28
申请人 比亚迪股份有限公司 发明人 韦家亮;林宏业
分类号 C23C18/40(2006.01)I 主分类号 C23C18/40(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种化学镀铜液,其特征在于,所述化学镀铜液中含有铜盐、络合剂、稳定剂、还原剂和表面活性剂,所述化学镀铜液中还含有咪唑喹啉酸;所述化学镀铜液中,铜盐的含量为7‑20g/L,还原剂的含量为1‑5g/L,咪唑喹啉酸的含量为0.001‑0.015g/L。
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