多层王冠型金属-绝缘体-金属电容器结构及其制作方法

摘要

本发明公开一种多层王冠型金属-绝缘体-金属电容器结构及其制作方法，该多层王冠型金属-绝缘体-金属电容器结构包含有一基底，其中设有一导电区域；一金属层间介电层，设于基底上；一电容沟槽，贯穿金属层间介电层，显露出导电区域；一电容下电极结构，设于电容沟槽内，包括一第一下电极及一第二下电极，其中第一下电极环绕着第二下电极，且第一下电极直接接触导电区域；一导电支撑底座，位于电容沟槽内，固定并电连接第一下电极及第二下电极的底部；一电容介电层，顺形的设置在第一下电极、第二下电极及导电支撑底座的表面上；以及一电容上电极，设置在电容介电层上。

主权项

一种多层王冠型金属‑绝缘体‑金属电容器结构，包含有:基底，其中设有一导电区域，位于一电容形成区域内；金属层间介电层，设于该基底上，并覆盖该电容形成区域；电容沟槽，位于该电容形成区域内，贯穿该金属层间介电层，显露出部分该导电区域；呈同心圆排列的电容下电极结构，设于该电容沟槽内，该电容下电极结构包括第一下电极以及第二下电极，其中该第一下电极环绕着该第二下电极，且该第一下电极直接接触该导电区域；导电支撑底座，位于该电容沟槽内，其固定住并电连接该第一下电极以及该第二下电极的底部；电容介电层，顺形的设置在该第一下电极、该第二下电极以及该导电支撑底座的表面上；以及电容上电极，设置在该电容介电层上。