发明名称 |
一种图像传感器的制造方法 |
摘要 |
本发明提供了一种图像传感器的制造方法,包括:(1)提供第一衬底,所述第一衬底包括具有第一光接收区的正面和与所述正面相对的背面;(2)提供硅基板,所述硅基板包括具有凹槽的正面和与所述正面相对的背面;(3)将所述第一衬底的背面与所述硅基板的正面通过一层铁钴合金层键合;(4)提供第二衬底,设置于所述凹槽底部,所述第二衬底包括具有第二光接收区的正面和与所述正面相对的背面,所述第二衬底的正面与所述硅基板的背面共面。 |
申请公布号 |
CN106505074A |
申请公布日期 |
2017.03.15 |
申请号 |
CN201611044952.9 |
申请日期 |
2016.11.24 |
申请人 |
南通沃特光电科技有限公司 |
发明人 |
王汉清 |
分类号 |
H01L27/146(2006.01)I;H01L23/552(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种图像传感器的制造方法,包括:(1)提供第一衬底,所述第一衬底包括具有第一光接收区的正面和与所述正面相对的背面;(2)提供硅基板,所述硅基板包括具有凹槽的正面和与所述正面相对的背面;(3)将所述第一衬底的背面与所述硅基板的正面通过一层铁钴合金层键合;(4)提供第二衬底,设置于所述凹槽底部,所述第二衬底包括具有第二光接收区的正面和与所述正面相对的背面,所述第二衬底的正面与所述硅基板的背面共面。 |
地址 |
226300 江苏省南通市南通高新区新世纪大道266号科技之窗 |