扫描电子显微镜

摘要

本发明的扫描电子显微镜具备：在电子束(5)通过物镜时使上述电子束减速的减速机构；配置于上述电子源与上述物镜之间且具有相对于上述电子束的光轴而轴对称的形状的感受面的第一检测器(8)以及第二检测器(7)。上述第一检测器设置在比上述第二检测器靠试样侧，专门对通过减速电场型能量过滤器(9A)后的高能量的信号电子进行检测。若将上述物镜的试样侧的前端部(13)与上述第一检测器的感受面之间的距离设为L1，并将上述物镜的上述试样侧的前端部与上述第二检测器的感受面之间的距离设为L2，则L1/L2≤5/9。由此，扫描式电子显微镜中，当应用减速法而进行低加速观察时，能够在几百倍程度的低倍率至十万倍以上的高倍率的大倍率范围内无阴影的影响地检测信号电子。并且，能够高效率地检测与二次电子相比产生量少的背向散射电子。

主权项

一种扫描电子显微镜，其特征在于，具备：电子源，其产生成为探测器的电子束；光阑，其限制上述电子束的直径；试样台，其搭载上述电子束所照射的试样；电子透镜，其包括将上述电子束会聚于上述试样表面的物镜；减速机构，其在上述电子束通过上述物镜时随着接近上述试样而使上述电子束减速；偏转器，其在试样上扫描上述电子束；以及至少两个检测器，其对从上述试样释放出的信号电子中通过物镜后的信号电子进行检测，上述至少两个检测器配置于上述电子源与上述物镜之间，上述至少两个检测器的感受面具有相对于光轴而轴对称的形状，对于上述检测器，在将配置为专门对通过减速电场型能量过滤器后的高能量的信号电子进行检测的检测器设为第一检测器，并将上述检测器中与第一检测器不同的检测器设为第二检测器的情况下，上述第一检测器设置在比上述第二检测器靠试样侧，将上述物镜的上述试样侧的前端部与上述第一检测器的感受面之间的距离设为L1，并将上述物镜的上述试样侧的前端部与上述第二检测器的感受面之间的距离设为L2，L1/L2≤5/9。