一种基板支撑结构、真空干燥设备以及真空干燥的方法

摘要

本发明公开了一种基板支撑结构、真空干燥设备以及真空干燥的方法，涉及机械设备技术领域，为解决现有技术中基板支撑结构容易造成基板划伤、基板品质降低以及亮度不均匀的问题。该基板支撑结构包括支撑销，所述支撑销的顶端用于支撑基板；辅助支撑组件，所述辅助支撑组件包括驱动装置，所述驱动装置连接有支撑杆，所述支撑杆的顶端设有支撑盘，所述支撑盘由柔性材料制作，所述驱动装置可带动所述支撑杆沿平行于所述支撑销的方向移动，随着所述支撑杆的移动，所述支撑盘可高于或低于所述支撑销的顶端。本发明公开的一种基板支撑结构、真空干燥设备以及真空干燥的方法用于支撑基板。

主权项

一种基板支撑结构，其特征在于，包括：支撑销，所述支撑销的顶端用于支撑基板；辅助支撑组件，所述辅助支撑组件包括驱动装置，所述驱动装置连接有支撑杆，所述支撑杆的顶端设有支撑盘，所述支撑盘由柔性材料制作，所述驱动装置可带动所述支撑杆沿平行于所述支撑销的方向移动，随着所述支撑杆的移动，所述支撑盘可高于或低于所述支撑销的顶端；所述支撑销内部设有空腔，所述驱动装置设置于所述空腔内，所述支撑销的侧壁设有沿径向贯穿所述支撑销的侧壁且沿轴向延伸的长槽，所述支撑杆的下端与所述驱动装置连接，所述支撑杆的顶端经由所述长槽伸出所述空腔外设置。