一种用于氮化铝晶体的湿法腐蚀装置

摘要

本发明公开了一种用于氮化铝晶体的湿法腐蚀装置，通过熔融NaOH‑KOH低共融混合物对氮化铝晶体进行湿法腐蚀，装置包括用于盛放熔融NaOH‑KOH低共融混合物的坩埚、设于坩埚中的用于放置氮化铝晶体的隔网、包覆在坩埚侧向周部的隔热套、设于坩埚底部的加热机构、用于实时测量坩埚中熔融NaOH‑KOH低共融混合物温度的测温机构。本发明一种用于氮化铝晶体的湿法腐蚀装置，通过使用金属镍材料制成的坩埚和隔网，耐腐蚀性高，基本杜绝腐蚀反应以外的其他化学反应，保证了腐蚀的质量，安全性高；通过设置测温机构，热电偶浸入熔融NaOH‑KOH低共融混合物内部，所测温度为实时温度，对腐蚀的温度参数控制准确。

主权项

一种用于氮化铝晶体的湿法腐蚀装置，通过熔融NaOH‑KOH低共融混合物对氮化铝晶体进行湿法腐蚀，其特征在于：所述装置包括：用于盛放熔融NaOH‑KOH低共融混合物的坩埚；设于所述坩埚中的用于放置所述氮化铝晶体的隔网；包覆在所述坩埚侧向周部的隔热套；设于所述坩埚底部的加热机构；用于实时测量所述坩埚中熔融NaOH‑KOH低共融混合物温度的测温机构。