一种用于铸造高效多晶硅的铸锭炉

摘要

一种用于铸造高效多晶硅的铸锭炉，包括隔热笼，所述隔热笼内部顶端设有顶部加热器，顶部加热器下端设有石墨顶板，石墨顶板下端设有坩埚，所述坩埚外侧设有石墨护板，石墨护板外侧设有侧部加热器，所述坩埚下端设有石墨底板，石墨护板下端设有DS块，所述DS块下侧设有保温板，所述保温板上设有孔洞。本实用新型用于铸造高效多晶硅工艺中，减少了硅锭杂质点，降低硅锭底部及侧部红区，大幅提高硅锭的成品率，节约了能耗，同时降低晶体边缘和头部位错，多晶硅片的光电转化效率提高0.05‑0.15%。

主权项

一种用于铸造高效多晶硅的铸锭炉，包括隔热笼（1），隔热笼（1）内部顶端设有顶部加热器（2），顶部加热器（2）下端设有石墨顶板（3），石墨顶板（3）下端设有坩埚（5），所述坩埚（5）外侧设有石墨护板（6），石墨护板（6）外侧设有侧部加热器（4），所述坩埚（5）下端设有石墨底板（7），石墨护板（7）下端设有DS块（9），其特征在于，所述DS块（9）下侧设有保温板（10），所述保温板（10）上设有孔洞（11）。