| 发明名称 | 一种高纯磷化锌的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种高纯磷化锌的制备方法，包括如下步骤：a、在清洁的石英管；b、取摩尔比为4:3的锌和磷放入石英管内，并充分混合；c、加热脱氧炉到200℃～280℃后，将石英管放入真空系统脱氧，在真空系统下将石英管封管，封管后停止脱氧；d、石英管放入合成炉中，以100℃～200℃/小时的速度缓慢升温至600℃～800℃，恒温1.5～2.5小时，后以100～200℃/小时的速度缓慢升温至1100～1200℃，再恒温2.5～3.5小时，以100-200℃/小时的速度缓慢降温至900℃～1050℃，停炉；e、破开石英管取出磷化锌产品，放入干燥容器内密封保存；通过本发明一方面防止生产过程中高纯磷蒸汽压过大产生炸管现象，另一方面使其缓慢升温保证其反应完全，使产品符合化学计量比要求。 | ||
| 申请公布号 | CN106477540A | 申请公布日期 | 2017.03.08 |
| 申请号 | CN201510832011.0 | 申请日期 | 2015.11.25 |
| 申请人 | 衡阳恒荣高纯半导体材料有限公司 | 发明人 | 聂玉;周晴;陈建国 |
| 分类号 | C01B25/08(2006.01)I | 主分类号 | C01B25/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人 | 曾志鹏 |
| 主权项 | 一种高纯磷化锌的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：a、在清洁的石英管内采用热解反应沉积碳膜；b、取摩尔比为4:3的锌和磷放入步骤a处理后的石英管内，并充分混合；c、加热脱氧炉到200℃～280℃后，将石英管放入真空系统脱氧，当真空系统的真空度达到5×10‑4pa～10×10‑4pa后将石英管封管，封管后停止脱氧；d、将从真空系统中卸下的石英管放入合成炉中，以100℃～200℃/小时的速度缓慢升温至600℃～800℃，恒温1.5～2.5小时，后以100～200℃/小时的速度缓慢升温至1100～1200℃，再恒温2.5～3.5小时，以100‑200℃/小时的速度缓慢降温至900℃～1050℃，停炉；e、破开石英管取出磷化锌产品，放入干燥容器内密封保存。 | ||
| 地址 | 421001 湖南省衡阳市石鼓区松木工业园上倪路9号 | ||