工作盘

摘要

本实用新型提供一种工作盘。该工作盘的下底面平整，工作盘的上底面设有凹槽，该凹槽用于放置待加工圆片。本实用新型通过在工作盘的上底面设置凹槽，使得待加工圆片相对固定在凹槽内，从而避免由于研磨机或抛光机异常或参数设置错误所导致的最终获得的圆片误差过大或区域性损坏，以提高产品的良品率。

主权项

一种工作盘，其特征在于，所述工作盘的下底面平整，所述工作盘的上底面设有凹槽，所述凹槽用于放置待加工圆片；所述凹槽的深度与所述待加工圆片的目标厚度的差值小于预设值，所述预设值的标准差为±5微米；采用蜡液将所述待加工圆片需减薄的一面朝上固定在所述凹槽内。