基于氦气分离膜的压力产品总漏率测试方法

摘要

本发明公开了一种基于氦气分离膜的压力产品总漏率测试系统，主要包括检漏收集室、氦气分离膜窗口、真空泵、氦质谱检漏仪和标定系统，检漏收集室室壁上设置有氦气分离膜窗口，该窗口与真空泵连通，氦质谱检漏仪对氦气分离膜窗口分离出来的氦气量进行测试，给出压力产品的总漏率测量值，标定系统向收集室中充入已知恒定流量示漏气体氦气的流量，检漏仪通过流量反应值来标定最终状态下压力产品的总漏率；其中，本发明的测试方法提高了压力产品总漏率测试的灵敏度，且对收集室的密封性要求较低，大大降低了压力产品总漏率测试系统的建设成本。

主权项

基于氦气分离膜的压力产品总漏率测试系统，主要包括容纳压力产品的检漏收集室、氦气分离膜窗口、真空泵、氦质谱检漏仪和标定系统，收集所容纳的压力产品泄漏出来的示漏气体的检漏收集室室壁上设置有氦气分离膜窗口，氦气分离膜窗口通过管路经真空泵阀门与真空泵连通，氦质谱检漏仪经检漏仪阀门对氦气分离膜窗口分离出来的氦气量进行测试，给出压力产品的总漏率测量值，与检漏收集室连通的标定系统由经标准计量过的流量计、稳压室和压力表组成，标定系统向收集室中充入已知恒定流量示漏气体氦气的流量，检漏仪通过恒定流量示漏气体流量反应值来标定最终状态下压力产品的总漏率；其中，氦气分离膜窗口用于从收集室中收集示漏气体氦气，仅允许氦气和氢气通过，对氦气起到富集作用。