一种LED用蓝宝石衬底研磨工艺中冷却水过滤设备

摘要

本实用新型公开了一种LED用蓝宝石衬底研磨工艺中冷却水过滤设备，包括外壳，所述外壳的内部由左至右依次设置有初次过滤装置、二次过滤装置和储水装置，且初次过滤装置、二次过滤装置和储水装置之间分别通过导流管一和导流管二串联在一起，储水装置远离二次过滤装置的一端加设有出水管，出水管的外表面加设有流量计，二次过滤装置包括消毒箱，消毒箱的内部靠近导流管一的一侧纵向设置有UV灯，UV灯的两端均通过固定座固定安装在消毒箱的内壁。本实用新型通过初步过滤装置、二次过滤装置及储水装置之间的相互配合使用，多元过滤，过滤的更加干净，达到了过滤彻底、洁净无物、降低冷却水的温度并保持其温度不变的效果。

主权项

一种LED用蓝宝石衬底研磨工艺中冷却水过滤设备，包括外壳（1），其特征在于：所述外壳（1）的内部由左至右依次设置有初次过滤装置（2）、二次过滤装置（3）和储水装置（4），且初次过滤装置（2）、二次过滤装置（3）和储水装置（4）之间分别通过导流管一（5）和导流管二（7）串联在一起，储水装置（4）远离二次过滤装置（3）的一端加设有出水管（9），出水管（9）的外表面加设有流量计（11）；所述二次过滤装置（3）包括消毒箱（31），消毒箱（31）的内部靠近导流管一（5）的一侧纵向设置有UV灯（34），UV灯（34）的两端均通过固定座（32）固定安装在消毒箱（31）的内部，且UV灯（34）的外部铺设有光触媒覆盖层（33），消毒箱（31）的内部靠近导流管二（7）的一侧纵向安装有活性炭吸附块（35），消毒箱（31）底部的两端分别通过导流管一（5）和导流管二（7）贯穿初次过滤装置（2）和储水装置（4）并延伸至初次过滤装置（2）和储水装置（4）的内部。